改善機台,軟硬體全面升級,創造設備最大價值
透過硬體的追加改造與軟體的變更,改善原設備之不足提升設備的稼動率。


實績:

氣、水、電、藥液監控系統

機械錶頭電子化,除了狀態監控與介入 還可進一步做到上拋資料執行遠端管理。

實績:
     
  • 台積電八廠 WET SES機台 流量計安裝數值紀錄上傳。
  • 台積電12廠 CMP機台 流量計安裝數值紀錄。
  • 聯電 超音波震盪器 電流監控。
  • 友達 COATER DEV 設備,藥液,氣體.流量.壓力監控紀錄及上傳。
  • 南茂科技 COATER 溫度 流量 壓力 監 控上傳。
  • 台豐印刷電路板湖口廠 整機機械表頭更改為數位上傳。

Dual Power 不斷電系統

幫助設備24V POWER有更穩定的運作,避免POWER故障造成產品報廢。
雙插槽設計,支援熱插拔,快速安全與穩定兼具。

實績:
     
  • 台積電八廠 WET SES設備 DC24V供應系統。
  • UMC WET SES設備 DC24V供應系統。
  • 旺宏 WET SES設備 DC24V供應系統。

PLC停產更新,設備活化

更新硬體PLC並將設定值完整復歸,免除新購設備高昂花費,延續設備壽命。

實績:

  • 力晶12吋廠 KOMATSU HOT DI 設備電控系統更新。
  • 台積八廠 KLA 檢測機 PLC更新。

晶圓保護監控裝置

透過雷射sensor或影像辨識等技術監控晶圓於設備內的位置,避免Cassette、Robot 等硬體誤動作造成晶圓破損或製程報廢。

實績:

  • 南茂科技濺鍍機 WAFER位置監控
  • 南茂科技 曝邊機 ROBOT位置監控。
  • 台積電 WAFER STAGE 異物刮傷檢測 。

破片檢知監控

檢查晶圓或面板等產品表面,提前檢測出不良品。

實績:

  • 友達 基板缺角檢測。
  • 群創 基板異物檢測。

PLC程式修改 增加功能

MITSUBISHI OMRON KEYENCE 等PLC功能增加修改。

實績:

  • 力晶8吋廠 WET 三菱PLC功能更改及增設UMC WET 設備 OMRON PLC 功能修改及增加。
  • 【群創光電】CELL製程 三菱PLC程式修改及功能增加
    【例如】 CCD異物檢自動ALARM判別NG 人員手動切換RECIPE改為自動模式。

機構設計變更

住華科技

實績:

  • 【住華科技】玻璃基板上升下降載台 , 氣缸改電動滑台。

產品數量確認控管

南茂科技

實績:

  • 【南茂科技】COATE , SCRUBBER WAFER數量計數監控及記錄。

設備異常救貨機制

實績:

  • 【 TSMC 8 】設備異常 , 自動排酸補水確保WAFER不因設備當機而報廢。
  • 【 UMC 】設備異常 , 自動排酸補水確保WAFER不因設備當機而報廢。

條碼比對功能

產品,治具,載具 條碼比對 極細微的條碼也可一維、二維、QR都可進行比對及記錄。

實績:

  • UMC光罩 BARCODE比對。

設備管路改造

PVC管 PFA管 SUS 水氣化管路改造設計。

設備HEATER EXCHANGE停產品替代案

設備老舊,停產品居多,HEATER EXCHANGE原廠價格高昂由敝司所代理的HEATER EXCHANGE來做替代 ,電控及管路均可協助安裝到好。

實績:

  • TSMC8 SES DHF HEATER EXCHANGE更換。
  • 旺宏 1 廠 DNS DHF HEATER EXCHANGE更換。
  • UMC SES HEATER EXCHANGE更換。